포스텍 김형준 교수팀,원자층 증착법 이용 기술개발 평가
 
 
　포스텍(POSTECH) 신소재공학과 김형준(40·사진)교수 연구팀이 알루미늄 박막에 자기조립 기술을 적용해 균일한 나노크기 구멍을 가진 자기조립 나노틀을 만든 후 첨단 박막기술인 원자층 증착법을 이용해 균일도와 정렬도가 우수한 나노구조물을 만들 수 있는 기술을 개발했다.
　영국 물리학회(Institute of Physics·IOP)가 발간한 `나노테크놀로지(Nanotechnology)’ 30일자 표지논문으로 발표된 이 기술은 나노막대, 나노점 등 다양한 형태로 제작할 수 있어서 나노 구조물의 대면적 제조 공정 개발의 가능성을 연 것으로 평가받고 있다.
　또 최근 소재 분야에서 크게 각광을 받고 있는 나노 융합공정의 일환으로 나노센서, 나노메모리 소자 등 다양한 나노전자소자 제작에 활용될 수 있을 것으로 전망된다.
　포스텍 관계자는 “원자층 증착법은 기존에 나노 박막을 형성하는 기술로 주로 연구되어 왔지만 이번 연구를 통해 나노틀 공정을 융합함으로써 다양한 나노 구조체를 제작하는 데 활용할 수 있게 됐다는 점에서 시사하는 바가 크다”고 말했다.
　이 기술을 특허출원한 김 교수 연구팀은 “나노 구조물 제작에서 필수적으로 생각됐던 고가의 패터닝 과정을 생략함으로써 기존보다 생산비용을 절감하고 기존 패터닝 과정의 한계를 극복할 수 있게 됐다”며 “국내 기술이 상대적으로 강한 원자층 공정의 응용분야를 나노 기술 분야로 확대했다는 점이 주목할 만하다”고 밝혔다.
　한편, `원자층증착법’은 반응기체들을 번갈아 공급해 기판 위에 한 원자층씩 흡착시키는 기술로 뛰어난 균일도의 극박막 증착이 가능해 나노급 반도체 제조의 필수적인 기술이다.  /남현정기자 nhj@