포스텍 BK21 지식산업형소재시스템사업단 박사과정 이한보람(28·사진)씨가 `제15회 한국반도체 학술대회’에서 우수논문 기업체상(삼성상) 수상자로 결정됐다.
　이한보람 씨는 포항 나노집적센터의 초고성능 스캐닝 투과 전자현미경을 활용, 소비전력이 상대적으로 적은 우수한 성능의 `에피택셜* 코발트 실리사이드 (Epitaxial Cobalt Silicide)’를 형성하는 기술을 이 학술대회에 발표했다.
　최근 기술의 발전으로 반도체 소자의 크기는 줄어들었지만 크기가 줄어들수록 소자 전극의 접촉 저항이 증가해 소비전력 역시 늘어나는 문제가 생긴다. 이 씨는 이를 해결하기 위해 플라즈마를 사용해 보다 쉽게 에피택셜 코발트 실리사이드를 형성시키는 방법을 개발했으며, 이에 부가적으로 `산화방지막(Capping layer)에 대한 효과’ 연구에서도 성과를 거뒀다.
　포스텍 관계자는 “학술대회는 지난 2월에 개최되었으나 수상자 결정은 최근에 났고, 459편의 논문이 발표돼 10편의 논문이 상을 받았다(포스터 논문 제외)”며 “시상식은 내년 2월에 있을 예정”이라고 말했다. 　한편, 한국 반도체 학술대회는 반도체와 관련해 전기전자, 컴퓨터, 나노 등 다양한 학문을 아우르는 국내 최대의 학술대회로 매년 2~3월에 개최된다. 특히 대학이나 연구소 외에도 삼성전자, 하이닉스와 같은 기업체들이 많이 참여함으로써 반도체 기술과 관련해서는 가장 폭넓은 기술교류의 장으로 손꼽히고 있다.
　※ 에피택시 : 기판의 결정방향과 일정한 방위를 가지고 성장시키는 것.
　 /남현정기자 nhj@